지스트 박기환 교수 연구팀

나노 계측에 필수적인 방진 장치 국산화

기존 외국 장비에 비해 30% 성능 향상

실험실벤처에서 8월부터 상품화 추진

 

지스트(GIST, 광주과학기술원) 연구팀이 기존의 외국산 장비보다 성능이 획기적으로 향상된 6축 능동 방진테이블을 국산화하는데 성공했다.

지스트(원장 선우중호)에 따르면 박기환(기전공학과 센서/액츄에이터 연구실, 사진) 교수팀은 기존 장비에 비해 방진효과가 크게 향상된 ‘6축 능동 방진 테이블’을 국내에서는 처음으로 제품화 하는데 성공했다. 특히, 이번에 개발한 능동 방진 테이블은 기존의 센서(가속도센서) 대신 낮은 주파수 대역에서도 민감한 센서 및 전자석 작동기를 자체 개발해 장착함으로써 기존 외국 제품에 비해 성능이 30% 향상된 결과를 얻어 상품화의 가능성이 매우 큰 것으로 평가되고 있다.  

박 교수는 “기존의 제품들은 고주파수 대역의 진동은 잘 제거하는 반면, 저주파수 대역의 진동은 잘 잡아내지 못한 단점이 있었다”며 “이번에 개발한 장비는 이같은 단점을 크게 보완한 것이어서 지금까지 나노계측 장치와 나노급 제조 장비에 필수적으로 사용되어온 외국제품의 능동방진 시스템을 대체할 수 있을 것으로 기대한다”고 말했다.

개발된 제품은 지스트 기전공학과 실험실 벤쳐 회사인 엠포시스(주) (www.em4sys.com)를 통해 올 8월부터 상품화 할 계획이다. 

능동방진 테이블은 속도 센서와 진동을 제어하는 작동기를 사용하여 바닥 또는 측면에서 들어오는 상하 좌우 진동신호를 제어함으로써 테이블 위에 있는 장비에 전혀 진동이 전달되지 않게 하는 장치이다. 특히, 머리카락 십만 분의 1의 크기(1 나노미터=10분의 1미터)를 측정하는 나노 계측 장치와 수십 나노미터의 선폭을 만드는 반도체 제조 장비는 바닥 또는 측면에서 들어오는 조그마한 진동으로도 나노 물질의 특성 파악 및 제품 성능에 치명적인 결과를 미칠 수 있기 때문에 매우 정밀한 방진테이블이 필수적이다.

최근에는 나노 산업의 발전으로 원자현미경(AFM) 이나 전자현미경과 같은 계측장치의 사용이 산업체로 크게 확산되고 있으며 반도체, 디스플레이 산업에서 초정밀도가 요구되는 부품 및 장비의 이용이 점점 확대 되어가고 있어 능동 방진테이블 시장도 커질 것으로 전망된다. 박 교수팀이 국산화한 이번 방진테이블은 상하, 좌우, 전후 등 모든 방향에서 오는 진동을 6개의 축에서 감지하고 제어함으로써 방진효과를 높였다. <홍보협력팀, 2008.7.8>

<언론보도 현황>
-매일경제, 전자신문, 파이낸셜뉴스, 디지털타임스, 굳데이, 사이언스타임스
-조선일보, 광주일보, 무등일보, 광주매일, 전남매일, 남도일보, 호남매일
-연합뉴스, 뉴시스